一種石英舟清洗和飽和處理方法

　　1)將石英舟放入配好的濃度為15%氫氟酸溶液中浸泡石英舟90min後，將石英舟放入噴淋槽純水噴淋45min ；

　　2)清洗陶瓷後的干燥：用氮氣吹干石英舟；

　　3)將石英舟放入爐溫850°C的管式擴散爐內，通1500ml的三氯氧磷和375ml的氧氣，時間 200min ；
石英
　　4)最後通入IO石英管L氮氣冷卻石英舟。